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你了解什么是FAB无尘室吗?
来源:
发布日期: 2023年04月27日
现在很多产品或者行业都会有自己的英文名称,为了提高辨识及分辨度,它们都会作出一个首字母的简称来作为称呼,比如其中的FAB无尘室,这是什么意思?下面小编来为大家解答。
现在很多产品或者行业都会有自己的英文名称,为了提高辨识及分辨度,它们都会作出一个首字母的简称来作为称呼,比如其中的FAB无尘室,这是什么意思?下面小编来为大家解答。
FAB无尘室是芯片生产加工的净化车间的一般称呼。tsmc、中芯国际的生产线都叫fab。净化车间不一样等级气体洁净度等级的空气过滤网的采用、布局关键点:针对300000级空气过滤解决,可选用亚高效送风口替代高效送风口;气体洁净度等级100级、10000级及100000级的空气过滤解决,应选用初、中、高效送风口三级过滤装置。
半导体材料(FAB)净化室中空气湿度的目标大概操纵在30至50%的范畴内,容许偏差在±1%的狭小的范畴内,比如光刻技术区──或是在远紫外光解决(DUV)区乃至更小──而在别的地区则能够释放压力到±5%的范畴内。
以上就是小编为大家介绍的“FAB无尘室”,希望能对您有所帮助。它只是一个英文单词的缩写,简称FAB,含义就是芯片加工的车间,对于行业来说非常重要。
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